电科装备下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，近日成功发货。

叠舟PECVD设备

　　作为光伏电池制备的一大重要工序，常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈，主流设备各方面性能大同小异，急需高产能、低成本、高稳定性、高工艺品质的新设备机型打破市场竞争格局。

　　红太阳光电基于15年的光伏装备领域经验，以自研PECVD镀膜设备为基础，对设备产能、成本、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步，跳出传统的单管单层舟设计思路，推出新型大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。

　　据介绍，该设备打破市面常规设备反应室结构，创新采用双舟叠放设计，单管载片量大幅提升，反应室的空间利用率提升至50%。